AWTM系列产品是专门为粘合晶圆及硅片设计的全自动 C-SAM®系统,容量大,产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。由于这些材料对超声波几乎是透明 的,Sonoscan利用自己专门研制的高频探头进行分析, 以获取最精细的图像。AW系列能够探测直径小于5微米 的空洞和薄如200埃的分层。

D24™是一种半自动产线设备,能够扫描610mm x 457 mm (24inx 18 in)的印刷电路板及样品,也可以同时扫描 6个JEDEC盘。除了能进行特大面积扫描,D24还兼具 Sonoscan高端实验设备特有的耐用性和准确性。此外, 即使在操作员不在场的情况下,分析也能照常进行,这使 得操作员能同时兼顾其他任务。

在D9™系列代表着实验室的C-SAM仪器现代化的标准，专业从事失效分析，工艺开发，材料特性和小批量生产检查。充分装载了当今最先进的软件，这些仪器包括健全和准确的扫描功能和广泛的用户便利，以提高实验室的声学显微镜的性能水平。该D9系列在反射和透射模式下工作，以确保所有类型的缺陷被正确提供最高质量的声学图像识别。

为了提高生产车间内微电子元器件的筛查效率,Sonoscan® 专门设计了FastLine™ P300™超声扫描显微镜。作为超声显 微成像技术的新平台,FastLine的紧凑设计缩小了占地空 间,其独特的输送系统能够在扫描一个JEDEC托盘或样品 盘的同时将下一次要扫描的样品放在水中的另一个托盘上 等待扫描。

FACTS2 为质量控制及工艺过程监测提供最先进的自动超 声扫描检测。只需操作员做极少的操作步骤,即可每小时 检查高达10,000块集成电路元件,在不降低生产量的前提 下确保了无缺陷生产。载有集成电路元件的JEDEC托盘可 一层一层摞起来,或作为在线生产过程的一个环节接受检 测。另外,FACTS2 亦可处理多层陶瓷电容、倒装芯片及 其他组件。